[发明专利]能量线照射系统和工件输送机构

摘要

本发明提供能量线照射系统和工件输送机构，能大幅度改善生产率，并且有助于有效地利用能量线。能量线照射系统包括能量线射出机构、以及把照射所述能量线的工件（W）在规定的工件交接区域和能量线的照射区域（AR）之间输送的工件支架（21），把所述工件交接区域设置在隔着通过所述照射区域（AR）的虚拟直线（C）相对的两个部位，并且作为所述工件支架（21）设置有：第一工件支架（21（1）），在一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动；以及第二工件支架（21（2）），在另一方的工件交接区域和所述照射区域（AR）之间移动。 1

主权项

1.一种能量线照射系统，其特征在于，所述能量线照射系统包括：能量线射出机构，向规定的照射区域射出能量线；以及工件支架，在规定的工件交接区域和所述照射区域之间输送作为被照射所述能量线的目标的工件，

所述工件交接区域设置在隔着虚拟直线的相对的两个部位，所述虚拟直线通过所述能量线的照射区域，

作为所述工件支架设置有：第一工件支架，在作为一方的工件交接区域的第一工件交接区域和所述照射区域之间输送工件；以及第二工件支架，在作为另一方的工件交接区域的第二工件交接区域和所述照射区域之间输送工件，

在向由一方的所述工件支架输送到照射区域的工件照射能量线期间，通过另一方的所述工件支架把完成能量线照射的工件交换成未照射的工件并进行保持，在通过一方的所述工件支架使能量线照射结束的工件退避后，通过另一方的所述工件支架把未照射能量线的下批的工件输送到照射区域，开始照射能量线。

2.根据权利要求1所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述第一工件支架和所述第二工件支架能输送尺寸相互不同的工件。

3.根据权利要求1或2所述的能量线照射系统，其特征在于，所述能量线照射系统还包括：

第一工件放置部和第二工件放置部，设置在隔着所述虚拟直线相对的两个部位；

第一输送构件，在所述第一工件交接区域和所述第一工件放置部之间输送工件；以及

第二输送构件，在所述第二工件交接区域和所述第二工件放置部之间输送工件。

4.根据权利要求3所述的能量线照射系统，其特征在于，所述能量线照射系统还包括：

第三工件放置部，设置在所述第一工件放置部和所述第二工件放置部之间；

第三输送构件，在所述第一工件交接区域和所述第三工件放置部之间输送工件；以及

第四输送构件，在所述第二工件交接区域和所述第三工件放置部之间输送工件。

5.根据权利要求3所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述第一输送构件和所述第二输送构件能输送尺寸相互不同的工件。

6.根据权利要求4所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述第一输送构件、所述第二输送构件、所述第三输送构件和所述第四输送构件能输送尺寸相互不同的工件。

7.根据权利要求1或2所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述工件支架在所述工件交接区域从输送构件接收工件后，移动规定距离，从所述输送构件接收另外的工件，由此能在移动方向上放置多列工件。

8.根据权利要求1或2所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述能量线是离子束，向工件注入离子。

9.根据权利要求3所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述能量线是离子束，向工件注入离子。

10.根据权利要求4所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述能量线是离子束，向工件注入离子。

11.根据权利要求5所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述能量线是离子束，向工件注入离子。

12.根据权利要求6所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述能量线是离子束，向工件注入离子。

13.根据权利要求7所述的能量线照射系统，其特征在于，

所述能量线是离子束，向工件注入离子。