[发明专利]直线位移台运动平行度的非接触检测方法

摘要

种直线位移台运动平行度的非接触检测方法，检测装置包括隔震平台、转接架、螺钉、位移传感器、检测基准块。检测方法包括检测装置安装、测量和数据处理。本发明测量具有分辨率高、精度高、速度快、灵敏度高的特点；对测量环境如洁净度、振动要求相对较低。

主权项

一种直线位移台运动平行度非接触检测方法，其特征在于检测装置包括隔震平台（7）、转接架（8）、螺钉（9）、位移传感器（10）和检测基准块（12），该方法的检测步骤如下：第一步，检测装置安装：将所述的隔震平台（7）水平放置，调整上表面平行于水平面XY面，将待测的直线位移台的基座（3）的下底面直接置于所述的隔震平台（7）上，待测的直线位移台的导轨（1）的运动方向为X轴方向，所述的检测基准块（12）的下表面置于所述的隔震平台（7）上并与所述的直线位移台的侧面留有一定间隙，避免由于直线位移台运动时产生振动而带来影响，所述的检测基准块（12）的最长边大于待测的直线位移台的全行程且沿X轴方向摆放，调整至检测基准块（12）的上表面平行于水平面XY面，将所述的转接架（8）置于所述的直线位移台的运动滑块（4）上，利用螺钉（9）旋入直线位移台的运动滑块（4）上的连接孔（5）固定；将所述的位移传感器（10）与转接架（8）的一侧面（13）通过螺钉（9）刚性固定，使运动滑块（4）移动到任意位置时，所述的位移传感器（10）的传感面（11）始终处于所述的检测基准块（12）的上表面的上方，使所述的位移传感器（10）的传感面（11）的法线垂直并位于所述的检测基准块（12）的上表面，所述的直线位移台的运动滑块（4）在电机（6）的驱动下沿导轨（1）的方向移动到测量运动平行度的起点位置，此时令位移传感器（10）的传感面（11）相对于检测基准块（12）的上表面的距离为z0，在XZ平面内的位移变化量为零；第二步，测量：待测的直线位移台的电机（6）驱动所述的运动滑块（4）沿导轨（1）在行程范围内连续移动，所述的位移传感器（10）以设定的时间间隔自动记录传感面（11）相对于检测基准块（12）的上表面在XZ平面内的位移量z，生成x1、z1，x2、z2，x3、z3，x4、z4，x5、z5，……，xn、zn，变化量△z＝z－z0；第三步，数据处理：将所述的x1、z1，x2、z2，x3、z3，x4、z4，x5、z5，……，xn、zn导出，利用最小二乘法拟合出一条直线，该直线向上最大偏离(+△Z1)与直线向下最大偏离(+△Z2)之和，即为所述的直线位移台的运动平行度。