[发明专利]一种纳米压印工艺的优化方法在审
| 申请号： | 201310552766.6 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN103577582A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 王晶 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30;G06Q10/04;G06Q50/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 成立珍 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印工艺的优化方法，包括如下步骤：（1）选取影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置相应水平；（2）在设定的因素条件下进行纳米压印实验，记录实验结果；（3）利用多因素方差分析方法对实验结果进行分析；（4）根据分析结果选择最佳水平组合，确定最佳的纳米压印条件。本发明提供的纳米压印工艺的优化方法利用数理统计方法，简单易行，科学精确，能快速确定最佳的纳米压印条件，提高纳米压印的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 工艺 优化 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印工艺的优化方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）选取影响纳米压印工艺的因素，每个因素设置相应水平；（2）在设定的因素条件下进行纳米压印实验，记录实验结果；（3）利用多因素方差分析方法对实验结果进行分析；（4）根据分析结果选择最佳水平组合，确定最佳的纳米压印条件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡英普林纳米科技有限公司，未经无锡英普林纳米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310552766.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
