[发明专利]一种背面钝化太阳电池的背面接触形成方法

摘要

本发明公开了一种背面钝化太阳电池的背面接触形成方法，包括以下步骤：（1）在第一导电类型的电池衬底正面形成陷光机构；（2）对电池衬底的正面进行第二导电类型的掺杂；（3）在电池衬底的正面沉积减反射层；（4）在电池衬底背面上方设置掩膜板；（5）在电池衬底背面形成背面钝化介质层，形成背面钝化介质层同时形成背面无钝化介质层的裸露区域；（6）在电池衬底的背面和正面形成电极图形，然后通过高温烧结的方式形成电极金属与硅的欧姆接触。本发明能消除背钝化太阳电池制备过程中激光开窗造成的损伤，提高背接触太阳电池的转换效率，并降低背钝化电池的制备成本和组件制备的碎片率风险。

主权项

 一种背面钝化太阳电池的背面接触形成方法，其特征是，所述制备方法包括以下步骤：（1）在第一导电类型的电池衬底正面形成陷光机构，陷光机构为单晶电池的绒面结构或者多晶电池的凹坑结构；（2）对所述电池衬底的正面进行第二导电类型的掺杂；（3）在所述电池衬底的正面沉积减反射层；（4）在所述电池衬底背面上方设置掩膜板，掩膜板形状与背面电极图形一致或者类似；（5）在所述电池衬底背面形成背面钝化介质层，形成背面钝化介质层同时形成背面无钝化介质层的裸露区域，背面无钝化介质层的裸露区域形状类似背面电极图形，背面无钝化介质层的裸露区域与掩模板一致，背面无钝化介质层的裸露区域用于背面电极与衬底形成导电接触；（6）在所述电池衬底的背面和正面形成电极图形，然后通过高温烧结的方式形成电极金属与硅的欧姆接触，得到背面钝化太阳电池。