[发明专利]一种多光路曝光设备的内层对位装置在审
| 申请号： | 201310520982.2 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN103529660A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李显杰;陈勇 | 申请（专利权）人： | 天津芯硕精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 12107 | 代理人： | 闫俊芬 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多光路曝光设备的内层对位装置，包括直线运动平台印刷电路板（PCB）、空间光调制器（SLM）、SLM成像镜筒、打标装置、图像采集设备、图像采集设备镜筒，所述PCB吸附在所述直线运动平台上，所述SLM下端连接有所述SLM成像镜筒，所述SLM成像镜投影在所述PCB上，所述打标装置固定在所述PCB一侧，所述图像采集设备下端连接有所述图像采集设备镜筒，所述图像采集设备通过所述图像采集设备镜筒采集所述PCB板上的图像。优选地，所述打标装置为uvLED或激光器，所述打标装置紧贴所述PCB安装。本发明的有益效果为，本发明的克服了标记各个空间光调制器SLM间相互扫描出图像不一致问题，运行操作简便，速度快，可以提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多光路 曝光 设备 内层 对位 装置 | ||
【主权项】：
一种多光路曝光设备的内层对位装置，其特征在于，包括直线运动平台印刷电路板（PCB）、空间光调制器（SLM）、SLM成像镜筒、打标装置、图像采集设备、图像采集设备镜筒，所述PCB吸附在所述直线运动平台上，所述SLM下端连接有所述SLM成像镜筒，所述SLM成像镜投影在所述PCB上，所述打标装置固定在所述PCB一侧，所述图像采集设备下端连接有所述图像采集设备镜筒，所述图像采集设备通过所述图像采集设备镜筒采集所述PCB板上的图像。
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