[发明专利]晶舟倾斜自动感应装置无效
| 申请号： | 201310506775.1 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103604415A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 许一峰;莫保章;席与凌 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶舟倾斜自动感应装置，通过增设感应装置来对晶舟的水平状态进行实时检测，如果晶舟一旦产生倾斜，感应装置的传感器就会将晶舟倾斜的信号传送至控制端，控制端接收到晶舟倾斜的信号时，发送指令控制信号灯发出提醒信息提醒技术人员晶舟已经产生倾斜，需尽快对晶舟做出调整。本发明可实时有效对晶舟的倾斜状态继续检测，避免倾斜的晶舟内的晶片造成破片，撞片，叠片，进而导致晶片报废。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜 自动 感应 装置 | ||
【主权项】：
一种晶舟倾斜自动感应装置，其特征在于，所述感应装置包括传感器、控制端和信号灯，所述控制端分别与所述传感器和所述信号灯相连；所述传感器用于检测所述晶舟是否倾斜，并将晶舟是否倾斜的信号反馈至所述控制端，所述控制端内置一处理模块，所述处理模块根据传感器反馈的信号控制所述信号灯是否发出提醒信息。
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