[发明专利]曝光机文件自动检查系统有效
| 申请号： | 201310506771.3 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN103617170B | 公开（公告）日： | 2017-04-12 |
| 发明（设计）人： | 赵静芬;马兰涛;陈力钧 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/30 | 分类号： | G06F17/30;G06F11/22 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种曝光机文件自动检查系统，系统包括光刻曝光机文件建立条件信息模块、光罩信息模块、曝光机文件建立/导出模块和数据处理模块；光罩信息模块中存储有光罩信息，曝光机文件建立/导出模块中存储有曝光机文件，曝光机文件建立条件信息模块中存储有建立曝光机文件时所需条件的参数信息；数据处理模块调取光罩信息模块中存储的光罩信息，并根据该光罩信息调取存储于曝光机文件建立/导出模块中的曝光机文件，数据处理模块同时调取曝光机文件建立条件信息模块中的参数信息后，将曝光机文件建立所需要更改的参数与调取的参数信息进行比对，并将比对结果进行输出。本发明系统能够提高曝光机文件的正确率和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 文件 自动 检查 系统 | ||
【主权项】：
一种曝光机文件自动检查系统，其特征在于，所述系统包括：光刻曝光机文件建立条件信息模块、光罩信息模块、曝光机文件建立/导出模块和数据处理模块；所述光罩信息模块中存储有光罩信息，所述曝光机文件建立/导出模块中存储有曝光机文件，所述曝光机文件建立条件信息模块中存储有建立曝光机文件时所需条件的参数信息；所述数据处理模块调取光罩信息模块中存储的光罩信息，并根据该光罩信息调取存储于所述曝光机文件建立/导出模块中的曝光机文件，所述数据处理模块同时调取曝光机文件建立条件信息模块中的参数信息后，将调取的存储于所述曝光机文件建立/导出模块的曝光机文件中的参数信息与调取的所述曝光机文件建立条件参数的信息进行比对，并将比对结果进行输出。
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