[发明专利]制备新型导电氧化铟锡锌材料及薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310494475.6 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN103510057A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/14;B22F3/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 341000 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种制备新型导电氧化铟锡锌材料及薄膜的方法，使用注浆成型制备新型氧化铟锡锌靶材，大量添加的氧化锌及氧化锡元素的形成氧化铟锡锌材料，降低靶材的成本。搭配中间层的银及银合金薄膜，形成三明治的多层薄膜结构设计，满足了生产的要求。由于适合低温度(<150℃)镀膜，所以可以应用于玻璃基材或者可挠性PET基材，扩大了应用范围。电阻值可降低至5x10-5Ωcm以下，透光性可高达90％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 新型 导电 氧化 铟锡锌 材料 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备新型导电氧化铟锡锌材料及薄膜的方法，其特征在于：导电氧化铟锡锌材料中氧化锡质量分数含量为10‑45%，氧化锌的质量分数含量1‑20%，余量为氧化铟，将上述原料使用氧化锆球、纯水及分散剂研磨充分混合，研磨时间24小时，然后将浆料灌入三寸的多孔性模具中，经过干燥后脱膜形成三元氧化物混合的低密度胚体，然后经过1400‑1550℃的高温烧结，即能形成溅镀用高密度靶材胚体，经切割与表面研磨成氧化铟锡锌(ITZO)靶材；采用多层结构设计，首先在玻璃或可挠性PET基板上先溅镀10‑50nm的氧化铟锡锌薄膜，接着溅镀5‑15nm的银或银合金薄膜，最后在溅镀10‑50nm的氧化铟锡锌薄膜，形成三明治结构的薄膜，使得薄膜在<150℃状态下溅镀成膜。
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