[发明专利]坩埚加热设备及方法有效
| 申请号： | 201310476481.9 | 申请日： | 2013-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN103557704A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张鑫狄;李冠政 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/20 | 分类号： | F27B14/20;G05D23/30 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;刘华联 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及坩埚加热设备和方法。本发明提出了一种坩埚加热方法，包括如下步骤：步骤1：设置根据本发明的坩埚加热设备；步骤2：将待蒸发的材料放入坩埚中；步骤3：将所述电热丝的不同分段分别设置成初始的发热功率；步骤4：蒸发所述材料并通过所述测量单元监控所述坩埚中材料的液位位置；步骤5：根据所述材料的液位位置调节所述电热丝的不同分段的发热功率，直至材料蒸发至所需的程度。本发明还提出了一种干锅加热设备。根据本发明的设备和方法，加大了坩埚的材料填充量，减少开腔次数，提高了机台使用率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 加热 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种坩埚加热设备，包括坩埚、围绕在所述坩埚外部的金属筒、缠绕在所述金属筒和所述坩埚之间的电热丝、用于测量坩埚内材料液位位置的测量单元以及控制器，其特征在于，所述电热丝包括沿纵向方向设置的至少两个分段，所述控制器分别控制各个分段的发热功率，从而将所述坩埚分为至少两个相应的温控区域。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310476481.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：组装式灯饰幕墙板
- 下一篇：一种混凝土剪力墙烂根防治结构
