[发明专利]开方机晶托无效
申请号: | 201310447793.7 | 申请日: | 2013-09-27 |
公开(公告)号: | CN103507174A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 刘耀峰;潘振东 | 申请(专利权)人: | 无锡荣能半导体材料有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 高玉滨 |
地址: | 214183 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种开方机晶托,包括方形的本体,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。本发明设计的开方机晶托,总高度达到100mm,这样可以留有足够的空间来消化掉切割时产生的线弓,可以避免钢线切割到晶托的情况的发生,并且为后期提高切割速度提供了物质保障。可以保证母锭能够一次性切透,提高工作效率,并且省去扰曲复原时间并省去这部分时间所使用的钢线,降低成本;同时为后续对工艺的优化,特别是提高切割速度提供物质保障;实现了消除钢线切割到晶托底座的隐患,延长其使用寿命的目的。 | ||
搜索关键词: | 开方 机晶托 | ||
【主权项】:
开方机晶托,包括方形的本体,其特征在于,本体的上下表面均为平面,在本体的上表面的纵向和横向分别开有若干个等距的线槽,每个所述线槽均贯穿于本体的两端并且线槽的宽度至少为20mm。
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