[发明专利]双通平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构的光学生化传感器

摘要

本发明公开了一种双通平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构的光学生化传感器，包括一个平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构和一条反馈波导回路，所述平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构包括：一条输入直波导、一条输出直波导、一个嵌套了马赫曾德尔结构MZI的微环谐振腔。本发明通过采用一个平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构、一条反馈波导回路、一个输入光栅垂直耦合器和一个输出光栅垂直耦合器，基于游标效应，使得非平衡马赫曾德尔结构和双通平行信道微环谐振腔的传输谱相叠加，获得具有更高灵敏度、更宽可探测动态范围和更大性噪比的传感特性谱图。

主权项

双通平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构的光学生化传感器，其特征在于，包括一个平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构和一条反馈波导回路，所述平行信道微环嵌套马赫曾德尔结构包括：一条输入直波导、一条输出直波导、一个嵌套了马赫曾德尔结构MZI的微环谐振腔，所述嵌套了MZI的微环谐振腔包括：第一直波导、第一左半圆反馈环波导、第一右半圆反馈环波导、第二直波导、环形波导以及第三直波导，所述反馈波导回路包括：第二左半圆反馈环波导、第八直波导、第二右半圆反馈环波导，所述第二直波导和第三直波导共线，所述输入直波导、输出直波导、第一直波导、第八直波导平行与第二直波导和第三直波导平行；输入直波导依次包括第一输入端、第四直波导、第二输入端；输出直波导依次包括第一输出端、第五直波导、第六直波导、第七直波导以及第二输出端；所述第一左半圆反馈环波导的两端分别延伸出第一直波导的第一端和第二直波导的第一端，第一右半圆反馈环波导的两端分别延伸出第一直波导的第二端和第三直波导的第二端，环形波导的两端分别延伸出第二直波导的第二端和第三直波导的第一端；第二左半圆反馈环波导的两端分别延伸出第八直波导的第一端和输出直波导的第一输出端的第一端；第二右半圆反馈环波导的两端分别延伸出第八直波导的第二端和输入直波导的第二输入端的第二端；所述第一直波导与第四直波导构成第一方向耦合器，所述第二直波导与第五直波导构成第二方向耦合器，所述第三直波导与第七直波导构成第三方向耦合器，所述环形波导与第六直波导构成马赫曾德尔干涉仪结构，所述环形波导作为马赫曾德尔干涉仪结构的弯曲臂，所述第六直波导作为马赫曾德尔干涉仪结构的直臂。