[发明专利]一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室

摘要

本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室，包括：具有双层管状结构的水冷壁，该水冷壁的内管腔中设有反应室，而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔；设于该反应室内的加热基座，且该加热基座上分布有若干凹槽；分布于该加热基座与水冷壁内管之间的整流罩；至少绕设在该水冷壁外壁上与该反应室相应区域内的感应线圈。本发明通过采用桶式结构的反应室，可以满足多片晶片同时生长，而通过采用射频感应加热，同时有直接热传导和辐射加热，提高了晶片温度分布的均匀性，尤其是对于大尺寸的晶片来说，加热不受反应室直径大小的限制，加热速度快、效率高、温度高、加热状态稳定，适合在大尺寸的高温CVD反应室中使用。

主权项

一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室，其特征在于，它包括：具有双层管状结构的水冷壁，所述水冷壁的内管腔中设有反应室，而内、外管之间至少与所述反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔，设于所述反应室内的加热基座，且所述加热基座上分布有一个以上凹槽， 分布于所述加热基座与所述水冷壁内管之间的整流罩，以及，至少绕设在所述水冷壁外壁上与所述反应室相应区域内的感应线圈。