[发明专利]多传感器对准系统中离焦倾斜校准与补偿方法及系统有效
| 申请号： | 201310429019.3 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104460234B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多传感器对准系统中离焦倾斜校准与补偿方法及系统，所述方法包括获取主对准传感器和每个辅对准传感器的最佳焦面位置，根据最佳焦面位置获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的最佳焦面偏差；获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的相对倾斜量；获取每个辅对准传感器对应的硅片标记分别与主对准传感器对应的硅片标记之间的垂向位置偏差；获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的离焦量差；获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的对准位置偏差；根据对准位置偏差对每个辅对准传感器的原始对准位置进行补偿。本发明能够精确获取各对准传感器之间的对准偏差，以对每个辅对准传感器和原始对准位置进行补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 对准 系统 中离焦 倾斜 校准 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种多传感器对准系统中离焦倾斜校准与补偿方法，其特征在于，包括:分别获取主对准传感器和每个辅对准传感器的最佳焦面位置，根据所述最佳焦面位置获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的最佳焦面偏差；获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的相对倾斜量；获取每个辅对准传感器对应的硅片标记分别与主对准传感器对应的硅片标记之间的垂向位置偏差；根据所述垂向位置偏差和最佳焦面偏差获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的离焦量差；根据所述相对倾斜量和离焦量差获取每个辅对准传感器与主对准传感器之间的对准位置偏差；根据所述对准位置偏差对每个辅对准传感器的原始对准位置进行补偿。
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