[发明专利]一种薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明所述的一种薄膜太阳能电池，在低阻窗口层形成电极凹槽，采集电极沉积于电极凹槽内。在设置缓冲层、高阻窗口层足够的厚度以保证其膜层的致密度的前提下，可有效降低界面光生载流子复合几率；将采集电极设置于电极凹槽内，不但可以降低两者接触区域垂直方向上高阻窗口层的厚度，有效降低太阳能电池的内阻，提高了太阳能电池的输出功率；同时，增大了采集电极与由高阻窗口层、低阻窗口层构成的透明窗口层的接触面积，提高了采集电极对光生载流子的采集率，进一步提高了薄膜太阳能电池的输出功率；而且，本发明所述的一种薄膜太阳能电池的制备方法，工艺简单，易实现大规模工业生产。

主权项

一种薄膜太阳能电池，包括在透明基底（101）的垂直方向上依次制备的背电极层（201）、光吸收层（301）、缓冲层（302）、高阻窗口层（303）、低阻窗口层（304）和采集电极（401），其特征在于：所述低阻窗口层（304）形成有电极凹槽（305），所述采集电极（401）填充于所述电极凹槽（305）内，充满所述电极凹槽（305）并露出于所述低阻窗口层（304）所在平面外；所述电极凹槽（305）的深度小于等于所述缓冲层（302）、所述高阻窗口层（303）以及所述低阻窗口层（304）厚度之和。