[发明专利]高功率激光反射镜热畸变的补偿装置

摘要

一种高功率激光反射镜热畸变的补偿装置，包括壳体，在壳体内部形成有阶梯通孔，左端形成通光孔、右端形成背光孔。在阶梯通孔内从右至左依次安装有环形半导体制冷片、环形紫铜片、环形银箔片、反射镜和压圈，在靠近背光孔一侧的壳体内壁中形成有U形水道，在环形紫铜片的外圆厚度方向上形成有凹槽，在凹槽内安装有热电偶，恒温控制装置的信号控制线分别与环形半导体制冷片和热电偶的信号线连通。本发明结构简单、通用性高、适用各种激光能量和光斑尺寸的反射镜热畸变补偿，并能进行实时调节，可以消除大型高功率长距离传输反射镜热畸变的多重叠加，补偿效果好。

主权项

一种高功率激光反射镜热畸变的补偿装置，包括壳体（1），在壳体（1）内部形成有阶梯通孔，左端形成通光孔（8）、右端形成背光孔（9），其特征在于：在阶梯通孔内从右至左依次安装有环形半导体制冷片（2）、环形紫铜片（3）、环形银箔片（4）、反射镜（5）和压圈（6），在靠近背光孔（8）一侧的壳体内壁中形成有U形水道（7），在环形紫铜片（3）的外圆厚度方向上形成有凹槽（10），在凹槽（10）内安装有热电偶（11），恒温控制装置（12）的信号控制线分别与环形半导体制冷片（2）和热电偶（11）的信号线连通。