[发明专利]制造硅单晶籽晶和硅晶片的方法及硅晶片和硅太阳能电池在审
申请号: | 201310412780.6 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN103710744A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 安德烈亚斯·克劳斯;朱莉安娜·沃尔特;拉明·希拉 | 申请(专利权)人: | 太阳世界创新有限公司 |
主分类号: | C30B15/36 | 分类号: | C30B15/36;C30B29/06 |
代理公司: | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人: | 李献忠 |
地址: | 德国弗*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及在硅晶片生产的范围内用于制造硅单晶籽晶和硅晶片的方法、硅晶片和硅太阳能电池,其中将硅单晶籽晶布置在坩埚的底部区域内,其中,所述硅单晶籽晶具有籽晶表面,该籽晶表面具有垂直于坩埚的底部区域的{110}晶体取向,其中从所述硅单晶籽晶的所述籽晶表面开始,将液态高纯度硅固化,并且其中通过使所述晶片表面具有{100}晶体取向的方式将硅块分割成硅晶片,其中,所述硅单晶籽晶由硅单晶块制成,所述硅单晶块的块轴线具有[110]空间取向,其中,切割所述硅单晶块,以形成所述硅单晶籽晶的具有平行于所述块轴线的所述{110}晶体取向的所述籽晶表面。 | ||
搜索关键词: | 制造 硅单晶 籽晶 晶片 方法 太阳能电池 | ||
【主权项】:
一种制造用于硅晶片生产的硅单晶籽晶的方法,‑其中将所述硅单晶籽晶布置在坩埚的底部区域内,其中,所述硅单晶籽晶具有籽晶表面,该籽晶表面具有平行于所述坩埚的所述底部区域的{110}晶体取向,‑其中从所述硅单晶籽晶的所述籽晶表面开始,使液态高纯度硅固化,并且‑其中通过使所述晶片表面具有{100}晶体取向的方式将硅块分割成硅晶片,其特征在于,所述硅单晶籽晶由硅单晶块制成,所述硅单晶块的块轴线具有[110]空间取向,‑其中,将所述硅单晶块平行于所述块轴线分割,以形成所述硅单晶籽晶的具有所述{110}晶体取向的所述籽晶表面和所述硅单晶籽晶的具有所述{100}晶体取向的侧表面。
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