[发明专利]一种存储器用机械抛光液无效
| 申请号： | 201310387795.1 | 申请日： | 2013-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN103436181A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 张竹香 | 申请（专利权）人： | 青岛承天伟业机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266199 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种存储器用机械抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，调节剂1-3份，水性介质50-55份，纳米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氢氧化铝7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-16份，偶联剂1-7份，十二烷基苯磺酸钠1-2份。本发明的抛光液性能稳定，抛光效果好，可满足制备纳电子相变存储器中工艺的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存储 器用 机械抛光 | ||
【主权项】：
一种存储器用机械抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：表面活性剂1‑3份，有机添加剂2‑5份，调节剂1‑3份，水性介质50‑55份，纳米石墨粉1‑2份，氨水7‑13份，氢氧化铝7‑13份，空心玻璃微珠9‑13份，山梨醇11‑18份，聚丙烯7‑10份，聚乙烯9‑16份，甘油1‑8份，二本甲酮7‑16份，偶联剂1‑7份，十二烷基苯磺酸钠1‑2份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛承天伟业机械制造有限公司，未经青岛承天伟业机械制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310387795.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
