[发明专利]一种静电驱动频率可变微机械谐振器有效
| 申请号： | 201310374612.2 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN103401527A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 田文超;扈江磊;杨丽琴 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 710071 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种静电驱动频率可变微机械谐振器，其包括，一谐振梁，所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件，且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极；两外部构件，所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧，所述外部构件两端设有挤压部件，所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸，且所述外部构件上还设有定齿电极，且所述定齿电极与所述动齿电极相交错；同时，所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动，当所述两外部构件靠近所述谐振梁时，所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 驱动 频率 可变 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
一种静电驱动频率可变微机械谐振器，其特征在于：其包括，一衬底，一谐振梁，所述谐振梁安装于所述衬底上，所述谐振梁两端分别向两侧延伸形成延伸构件，且所述谐振梁两侧向外延伸形成动齿电极；两外部构件，所述两外部构件分别位于所述谐振梁两侧，所述外部构件两端设有挤压部件，所述挤压部件由外部构件两端向谐振梁方向延伸，且所述外部构件上还设有定齿电极，且所述定齿电极与所述动齿电极相交错；同时，所述两外部构件能够相对所述谐振梁移动，当所述两外部构件靠近所述谐振梁时，所述挤压部件挤压所述延伸构件以改变谐振梁长度。
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