[发明专利]光学偏振变换器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种光学偏振变换器及其制作方法，本发明的光学偏振变换器包括偏振分束器、第一个半波片、、第二个半波片、偏振合束器，该器件是一种热光型偏振变换器，通过改变二氧化硅光波导的温度来引入相位延迟单元，并通过可调节耦合器和相移器的组合器件对两束偏振光的光强进行任意比例分配，进而对光的偏振态进行实时精确变换。本发明的光学偏振变换器的制作方法包括：（1）切割硅晶片；（2）清洗硅晶片；（3）热氧化硅晶片；（4）直写光波导和微光子器件；（5）制作微薄膜加热电极。本发明具有损耗小、制作简单精确、集成化度高、驱动电压小、功耗小的优点，可以用于对光的偏振态进行实时精确变换。

主权项

一种光学偏振变换器，包括基于硅基二氧化硅制作材料制成的均为三维2×2型的偏振分束器（1）、第一个半波片（2）、可调节耦合器和相移器的组合器件（3）、第二个半波片（4）、偏振合束器（5）；其中：所述偏振分束器（1）位于光学偏振变换器的最左端，用以将任意偏振态的入射光分解为两束偏振方向夹角为90°的线偏振光；所述第一个半波片（2）与偏振分束器（1）通过光波导相连，用以将偏振分束器（1）输出的两束偏振方向夹角为90°的线偏振光转换为两束偏振方向相同的线偏振光；所述可调谐耦合器和相移器的组合器件（3）通过光波导分别与偏振分束器（1）和第一个半波片（2）相连，用以对两束偏振方向相同的线偏振光的光强进行任意比例分配；所述第二个半波片（4）可调谐耦合器和相移器的组合器件（3）通过光波导相连，用以将入射进第二个半波片（4）的线偏振光的偏振方向旋转90°，第二个半波片（4）输出的线偏振光与第一个半波片（2）输出的线偏振光的偏振方向夹角为90°；所述偏振合束器（5）位于光学偏振变换器的最右端，偏振合束器（5）通过光波导分别与可调谐耦合器和相移器的组合器件（3）和第二个半波片（4）相连，用以将从第二个半波片（4）和可调谐耦合器和相移器的组合器件（3）输出的两束线偏振光合成一束任意所需偏振态的光。