[发明专利]多晶硅冷氢化的残液回收系统无效
| 申请号： | 201310372330.9 | 申请日： | 2013-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN104415560A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 齐林喜;郭金强 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D1/14 | 分类号： | B01D1/14;C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 015543 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 一种多晶硅冷氢化的残液回收系统，用于回收来自于洗涤系统的残液。多晶硅冷氢化的残液回收系统包括盛放残液的残液罐、气化氯硅烷的气化器和冷凝液回收器。气化器与该残液罐通过鼓泡管连接到残液罐并利用气化后的氯硅烷将残液罐内的残液鼓泡并加热，该冷凝液回收器收集来自于残液罐的气态氯硅烷。本案的多晶硅冷氢化的残液回收系统利用气化后的氯硅烷鼓泡蒸发残液罐内的液体，实现固液分离，同时，蒸发后的氯硅烷液体可以和鼓泡用的氯硅烷一起冷凝后作为多晶硅冷氢化制造的原料，循环利用，整个回收处理过程没有不必要的介质进入，可以保证回收后的物料不会受到杂质污染，保证后续多晶硅生产的纯度。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 氢化 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种多晶硅冷氢化的残液回收系统，用于回收来自于洗涤系统的残液，其特征在于：该多晶硅冷氢化的残液回收系统包括盛放残液的残液罐、气化氯硅烷的气化器和冷凝液回收器，该气化器与该残液罐通过鼓泡管连接到残液罐以利用气化后的氯硅烷将残液罐内的残液鼓泡加热，该冷凝液回收器收集来自于残液罐的气态氯硅烷。
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