[发明专利]冷却水处理装置、方法及其基板处理装置有效
| 申请号： | 201310369409.6 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN103628031A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 李宰承;金俊浩;赵相铉;李昞日 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 发明涉及冷却水处理装置和处理方法以及适用了该处理装置和处理方法的基板处理装置，尤其涉及在更换靶材时冷却水不会外漏的冷却水处理装置和冷却水处理方法以及适用了该冷却水处理装置的基板处理装置。本发明实施方式的冷却水处理装置，包括：冷却器，向被冷却体壳体供给和回收冷却水；冷却水供给管和冷却水回收管，分别连接所述被冷却体壳体与冷却器；空气流入体，有选择地向所述被冷却体壳体注入空气；冷却水排出器，当以排出模式工作时，为了中断向被冷却体壳体供给冷却水，将冷却水供给管转换连接成冷却水回收管而回收冷却水，并通过所述空气流入体向被冷却体壳体注入空气，以将残留在被冷却体壳体内部的冷却水向冷却水回收管排出。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 水处理 装置 方法 及其 处理 | ||
【主权项】：
一种冷却水处理装置，包括：冷却器，向被冷却体壳体供给和回收冷却水；冷却水供给管和冷却水回收管，分别连接所述被冷却体壳体与冷却器；空气流入体，有选择地向所述被冷却体壳体注入空气；冷却水排出器，当以排出模式工作时，为了中断向被冷却体壳体供给冷却水，将冷却水供给管转换连接到冷却水回收管而回收冷却水，并通过所述空气流入体向被冷却体壳体注入空气，以将残留在被冷却体壳体内部的冷却水向冷却水回收管排出。
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