[发明专利]蓝宝石单晶电阻生长炉

摘要

一种蓝宝石单晶电阻生长炉，属于蓝宝石单晶培养设备领域，解决了传统蓝宝石单晶电阻生长炉打开大炉盖时费时费力的问题，它包含真空炉体，在真空炉体内部包含保温层、加热电极、电阻加热元件、坩埚和籽晶杆，所述坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间位置，在坩埚的上方设有保温层，在坩埚周围设置有电阻加热元件，电阻加热元件的上端与加热电极固定连接，加热电极还与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外，在加热电极内设有水循环通道，在电阻加热元件周围及下方设置有保温层；所述真空炉体上设置有大炉盖和小炉盖，在小炉盖上设置有旋转机构，所述籽晶杆的上端与旋转机构连接，籽晶杆的下端伸入坩埚内。本发明用于培养蓝宝石单晶生长。

主权项

一种蓝宝石单晶电阻生长炉，其特征在于它包含真空炉体(1)，在真空炉体(1)内部包含保温层(2)、加热电极(3)、电阻加热元件(4)、坩埚(5)和籽晶杆(6)，所述坩埚(5)通过支柱(5‑1)和托板(5‑2)设置在真空炉体(1)的中间位置，在坩埚(5)的上方设有保温层(2)，在坩埚(5)周围设置有电阻加热元件(4)，电阻加热元件(4)的上端与加热电极(3)固定连接，加热电极(3)还与真空炉体(1)固定连接并伸出真空炉体(1)之外，在加热电极(3)内设有水循环通道(3‑1)，在电阻加热元件(4)周围及下方设置有保温层(2)；所述真空炉体(1)上设置有大炉盖(7)，在大炉盖(7)上设置有小炉盖(8)，在小炉盖(8)上设置有旋转机构(9)，所述籽晶杆(6)的上端与旋转机构(9)连接，籽晶杆(6)的下端伸入坩埚(5)内。