[发明专利]静电卡盘以及等离子体加工设备

摘要

本发明提供的静电卡盘以及等离子体加工设备，包括用于承载被加工工件的卡盘和基座，卡盘包括卡盘本体、设置在卡盘本体内的静电电极和加热单元，静电电极与直流电源连接，用以采用静电引力的方式将被加工工件固定在卡盘上；加热单元用于加热被加工工件；基座设置在卡盘本体的下方，用以支撑和固定卡盘本体；在卡盘本体和基座之间设置有隔热组件，隔热组件包括膨胀隔热环和冷却单元，其中，膨胀隔热环为闭合的薄壁结构件，其上、下两端分别与卡盘本体和基座密封接触；冷却单元用于冷却膨胀隔热环。本发明提供一种静电卡盘，其可以彻底解决卡盘的隔热问题，从而可以提高静电卡盘的加热效率和加热均匀性。

主权项

一种静电卡盘，包括用于承载被加工工件的卡盘和基座，所述卡盘包括卡盘本体、设置在所述卡盘本体内的静电电极和加热单元，所述静电电极与直流电源连接，用以采用静电引力的方式将被加工工件固定在所述卡盘上；所述加热单元用于加热所述被加工工件；所述基座设置在所述卡盘本体的下方，用以支撑和固定所述卡盘本体；其特征在于，在所述卡盘本体和基座之间设置有隔热组件，所述隔热组件包括膨胀隔热环和冷却单元，其中所述膨胀隔热环为闭合的薄壁结构件，其上、下两端分别与所述卡盘本体和基座密封接触；所述冷却单元用于冷却所述膨胀隔热环，所述冷却单元包括冷却媒介源和冷却环，其中，所述冷却环位于所述卡盘本体与基座之间，且环绕在所述膨胀隔热环的内侧或外侧设置，并且在所述冷却环内设置有环形的冷却通道，所述冷却媒介源用于向所述冷却通道内通入冷却媒介。