[发明专利]一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法

摘要

一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，包括如下步骤：步骤1，对于处于受控状态下的集成电路工艺设备进行监控，并根据监测出的异常对设备提出预警；步骤2，首先从历史数据库中随机读取若干设备加工工艺关键监控参数样本值，计算样本值的均值与方差，根据均值和方差确定参数值的统计过程控制界限；利用统计过程控制界限构造出统计过程控制图；步骤3，在设备上不间断的采集质量参数实时数据，并对实时采集的参数进行处理；数据处理后使用统计过程控制图对参数值进行实时监控，并在有异常状况时进行相应的处理；系统同时将采集到的数据存入历史数据库中。产生异常的情况下，本方法快速的确定不受控的因素，为解决问题提供有效的参考。

主权项

一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，基于生产加工系统，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，对于处于受控状态下的集成电路工艺设备，系统对设备的加工产品特性质量进行监控并根据监测出的异常对设备提出预警；步骤2，系统首先从历史数据库中随机读取若干设备加工工艺关键监控参数样本值，对参数样本值进行预处理；计算样本值的均值与方差，根据均值和方差确定参数值的统计过程控制界限；系统利用统计过程控制界限构造出统计过程控制图；步骤3，系统在设备上不间断的采集质量参数实时数据，并对实时采集的参数进行处理；数据处理后使用统计过程控制图对参数值进行实时监控，并在有异常状况时进行相应的处理；系统同时将采集到的数据存入历史数据库中。