[发明专利]光学装置有效
| 申请号： | 201310352686.6 | 申请日： | 2013-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN103674926A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 木村茂治 | 申请（专利权）人： | 日立视听媒体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;郭凤麟 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学装置。在用针孔或者狭缝限制检测光量的透射型的扫描光学显微镜光学装置中，实现不扫描观察试样而扫描光束的方法。将透过了观察试样（202）的来自光束扫描机构（263）的扫描光聚集到反射板（210）上，再次返回到观察试样（202）。从试样（202）返回的光再次返回光束扫描机构（263）后，使用光检测器（104）检测通过固定的针孔（265）或者狭缝被限制的光。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 | ||
【主权项】：
一种光学装置，其特征在于，具有：激光光源；光束扫描机构，其扫描从所述激光光源射出的激光；工作台，其保持观察试样；物镜，其将从所述光束扫描机构射出的激光会聚到在所述工作台上保持的观察试样上；聚光光学系统，其设置在所述工作台的光透射侧；反射板，其配置在所述聚光光学系统的聚光位置；聚光透镜，其对来自所述光束扫描机构的返回光进行聚光；开口，其设置在所述聚光透镜的焦点位置；光检测器，其检测通过了所述开口的光；存储部，其将所述光检测器的信号和扫描位置对应地存储；显示装置，其显示所述存储部中存储的信号。
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