[发明专利]以工业液氯为原料制备电子级高纯氯气的方法有效
申请号: | 201310345584.1 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN103626129A | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 卢孔燎;郑琪;章意坚;万波 | 申请(专利权)人: | 杭州电化集团有限公司 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07 |
代理公司: | 杭州裕阳专利事务所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 冉国政 |
地址: | 311228 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 发明公开了一种以工业液氯为原料制备电子级高纯氯气的方法,由工业液氯气化后经多级物理干燥、吸附脱除二氧化碳、压缩冷凝、精馏脱除氮气、氧气、氢气、一氧化碳、甲烷等低沸点气体制得99.999%以上的电子级高纯氯气。该制备方法成本低,收益高,制得的产品纯度高,产品可广泛应用于光纤通信、微电子、高温超导材料的制备。 | ||
搜索关键词: | 工业 原料 制备 电子 高纯 氯气 方法 | ||
【主权项】:
一种以工业液氯为原料制备电子级高纯氯气的方法,其特征在于,包括以下步骤:原料工业液氯经气化后,从装有干燥剂的一级干燥塔底部进入,经吸附脱除大部分水分后从塔顶出来; 再进入装有干燥剂的二级干燥塔底部,经深度脱水,脱除微量水分后从塔顶出来,脱除后氯气中的水分含量小于0.5ppm; 然后从装有吸附剂的吸附塔底部进入,吸附脱除二氧化碳和极微量水分后从塔顶出来,吸附后二氧化碳含量小于2ppm;减压,冷凝后进入精馏塔,氮气,氧气,氢气,一氧化碳,甲烷等低沸点气体从塔顶排出,形成尾气后并回收,脱除后氮气含量小于2ppm,氧气含量小于1ppm,一氧化碳含量小于1ppm,甲烷小于1ppm,氢气含量小于0.2ppm;从精馏塔塔底出来的高纯液氯纯度达到99.999%以上,经压缩灌装系统装瓶,装瓶后的高纯液氯,金属离子总含量小于0.3ppm。
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