[发明专利]一种掺钨的类金刚石涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310344882.9 | 申请日： | 2013-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN103451608A | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 马胜利 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/06;B32B15/04;B32B9/04 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 蔡和平 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种掺钨的类金刚石涂层及其制备方法，该涂层包括沉积于基体表面的Cr底层、制备于Cr底层上的CrC过渡层及制备于CrC过渡层上的掺W的类金刚石层。制备时先将基体进行等离子体清洗，然后开启柱型电弧Cr靶，在基体表面制备Cr底层，再打开平面磁控溅射C靶，在Cr底层上制备CrC过渡层，最后关闭柱型电弧Cr靶，打开平面磁控溅射W靶，在CrC过渡层上制备掺W的类金刚石层。本发明采用电弧与磁控溅射复合镀膜技术，制得的涂层表面光滑致密、涂层硬度高、膜基结合力高、摩擦系数低，具有良好的抗氧化及化学稳定性能，能够满足较高的抗氧化和耐磨减摩性能的要求，具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种掺钨的类金刚石涂层，其特征在于：包括沉积于基体表面的Cr底层、制备于Cr底层上的CrC过渡层以及制备于CrC过渡层上的掺W的类金刚石层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310344882.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镍含量稳定的碱性锌镍合金脉冲电镀方法
- 下一篇：一种内燃式叉车液压系统
- 同类专利
- 专利分类
