[发明专利]一种MEMS电路盖子及其制作方法有效
| 申请号： | 201310335857.4 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN104340946A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 龚平;刘晓明;韩林森;王从亮 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B29C45/14;B29C45/78;B29C45/26 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS电路盖子及其制作方法，其中：包括一个由环氧树脂注塑成型的盖体，所述盖体中间设有支撑点，该支撑点的一侧设有透气孔；制作方法包括框架载体与塑封模具，所述框架载体上设置有若干个与盖子大小匹配的空位，所述塑封模具包括有若干个模盒，每个模盒内至少可容纳一个所述框架载体，所述模盒对应所述框架载体上的每个空位处分别设有一个空穴，该空穴形状与所述盖子形状匹配，先将所述框架载体放置于所述模盒内，使空位与空穴位置对应，然后闭合塑封模具，将环氧树脂溶液注入模盒中，充填满每一个空穴，最后打开塑封模具，取出带有盖子的框架载体，完成盖子的制作。本发明可实现全自动加盖工艺，提高生产效率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 电路 盖子 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS电路盖子，其特征在于：包括一个由环氧树脂注塑成型的盖体，所述盖体中间设有支撑点，该支撑点的一侧设有透气孔。
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