[发明专利]准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构无效
申请号: | 201310328254.1 | 申请日: | 2013-08-01 |
公开(公告)号: | CN103409791A | 公开(公告)日: | 2013-11-27 |
发明(设计)人: | 水川;许柏 | 申请(专利权)人: | 安徽大晟新能源设备科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
地址: | 237000 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构,包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板,所述石墨平台底部设有下发热体,所述下发热体、石墨平台与升降立柱连接,可随升降立柱一起上下移动。本发明结构合理,形成了一个动态六面热场,六面式热场加热方式采用上、下发热体和一组侧面发热体,三组发热体均可独立控制,整个热场横向温度梯度小,熔化硅料时间短,提高单晶率,缩短工艺周期,提高了设备的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 准单晶 铸锭 保温 体六面式热场 结构 | ||
【主权项】:
一种准单晶铸锭炉的保温体六面式热场结构,包括上保温体、下保温体、侧发热体、上发热体、石墨平台、石英坩埚、坩埚护板和坩埚盖板,所述保温体为箱体型,其内部的上方固定设有上发热体,保温体四周固定设有侧发热体,保温体中部设有石墨平台,石墨平台上平面置有石英坩埚,石英坩埚的四周设有坩埚护板,坩埚护板的上方设有坩埚盖板,其特征在于:所述石墨平台底部设有下发热体,下发热体、石墨平台与升降立柱连接,可上下移动。
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