[发明专利]包括测试结构的晶片和芯片在审
申请号: | 201310319261.5 | 申请日: | 2013-07-26 |
公开(公告)号: | CN103579196A | 公开(公告)日: | 2014-02-12 |
发明(设计)人: | U.施马尔斯鲍尔;M.孙德尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/544 | 分类号: | H01L23/544 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 蒋骏;卢江 |
地址: | 德国瑙伊比*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及包括测试结构的晶片和芯片。提供了具有处于其上的芯片的晶片和对应的芯片,其中,在芯片的外围芯片区域中提供测试结构或其部分。还公开了对应的方法。 | ||
搜索关键词: | 包括 测试 结构 晶片 芯片 | ||
【主权项】:
一种晶片,包括:多个芯片,所述芯片通过截口区域彼此分离,所述芯片中的至少一个包括主区域和外围芯片区域,所述主区域至少具有形成于其中的半导体器件,其中,在所述外围芯片区域中形成测试结构的至少一部分。
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