[发明专利]原子力显微镜针尖基底微小距离控制方法在审
| 申请号： | 201310317582.1 | 申请日： | 2013-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN104345739A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 焦念东;刘增磊;王越超;刘连庆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;B82Y35/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 周秀梅;许宗富 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开一种原子力显微镜(AFM)针尖基底距离控制的方法。调节针尖与基底接触并且压力为零，以此状态作为初始状态；控制压电陶瓷收缩，带动探针向上运动，使AFM探针的针尖离开基底，所述针尖和基底表面的水膜形成液桥，通过调节AFM的压电陶瓷的伸缩使AFM探针的悬梁臂发生相应程度的形变；根据悬梁臂发生的形变计算针尖和基底的距离。该方法利用空气中物体表面广泛存在的水膜的吸附作用力，实现针尖距离基底的微小变化的调节。该方法可用于纳米沉积加工等需要针尖距离基底很近的场合。 | ||
| 搜索关键词： | 原子 显微镜 针尖 基底 微小 距离 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种原子力显微镜针尖基底微小距离控制方法，其特征在于，包括以下步骤：调节针尖与基底接触并且压力为零，以此状态作为初始状态；控制压电陶瓷收缩，带动探针向上运动，使AFM探针的针尖离开基底，所述针尖和基底表面的水膜形成液桥，通过调节AFM的压电陶瓷的伸缩使AFM探针的悬梁臂发生相应程度的形变；根据悬梁臂发生的形变计算针尖和基底的距离。
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