[发明专利]一种偏振光调制元件

摘要

本发明提供一种偏振光调制元件，解决了高NA光刻技术中光束由Y偏振光转换为径向偏振光和切向偏振光问题，所述偏振光调制元件由两块呈中心对称分布的半圆形调制元件拼接而成，每块半圆形调制元件表面边缘轮廓为连续曲线，边缘轮廓线上每一确定点到对称中心O点的距离连线区域具有确定的厚度，具体的厚度与旋转的角度有关。该调制元件用来旋转线偏振光的偏振方向而不改变线偏振光的特性，两块半圆形调制元件所用材料为石英晶体，两块半圆形调制元件光胶在一块熔石英基底上，该偏振调制元件具有机械稳定性好、温度变化影响小、调制精度高、成本低等优点。

主权项

一种偏振光调制元件，其特征在于：所述的偏振光调制元件由第一半圆形调元件（1）、第二半圆形调制元件（2）和基底（3）构成，第一半圆形调元件（1）和第二半圆形调制元件（2）光胶在基底（3）上，第一半圆形调制元件（1）和第二半圆形调制元件（2）所用材料为旋光性材料，第一半圆形调制元件（1）和第二半圆形调制元件（2）结构相同，均为一面为平面，另一面为平滑斜面，第一半圆形调制元件（1）和第二半圆形调制元件（2）拼接而成的平面一侧位于ｘｙ面内，二者呈中心对称分布，且第一半圆形调制元件（1）和第二半圆形调制元件（2）沿ｚ向切面均为半圆形，且二者的半径相等，第一半圆形调制元件（1）和第二半圆形调制元件（2）通过拼接而成圆形，其圆周面上的任意一点到光轴ｚ的垂直距离相等；A点和B点是第一半圆形调制元件（1）和第二半圆形调制元件（2）的沿圆周处的接点，第一半圆形调制元件（1）的B点部分和第二半圆形调制元件（2）的A点部分为厚度极大值dmax，第一半圆形调制元件（1）的A点部分和第二半圆形调制元件（2）的B点部分为厚度极小值dmin，其中：以A点为起点，第一半圆形调制元件（1）顺时针旋转角度θ所对应的厚度d(θ)表示为：d(θ)＝180°/α+θ/α，0≤θ≤180°其中a为石英晶体的旋光率；以A点为起点来看，第二半圆形调制元件（2）顺时针旋转角度θ对应的厚度d(θ)表示为：d(θ)＝180°/α+(θ‑180°)/α，180°≤θ≤360°其中a石英晶体的旋光率。