[发明专利]一种测量束流的法拉第装置有效
| 申请号： | 201310303660.2 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103792566A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 庞云玲 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流的法拉第测量装置，包括：密封插座(1)、法拉第杯安装板(2)、法拉第收集框(3)、石墨挡板(4)、导磁板(5)、微型法拉第杯(6)，所述微型法拉第杯(6)安装于法拉第杯安装板(2)上，所述法拉第杯安装板(2)通过所述法拉第收集框(3)的连接固定于离子注入机上，所述石墨挡板(4)安装于所述法拉第收集框(3)上，位于微型法拉第杯(6)入口前方位置；其特征在于，所述微型法拉第杯(6)共21个与所述导磁板(5)并列安装于法拉第杯安装板(2)上，位于真空环境中；所述微型法拉第杯(6)的电流通过所述密封插座(1)引出；所述密封插座(1)固定于所述法拉第收集框(3)上接近法拉第杯安装板(2)的位置。本发明测量束流角度精准，装置对真空系统的密封性影响小，产生热量低。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 法拉第 装置 | ||
【主权项】：
一种束流的法拉第测量装置，包括：密封插座(1)、法拉第杯安装板(2)、法拉第收集框(3)、石墨挡板(4)、导磁板(5)、微型法拉第杯(6)，其特征在于：所述微型法拉第杯(6)安装于法拉第杯安装板(2)上，所述法拉第杯安装板(2)通过所述法拉第收集框(3)的连接固定于离子注入机上，所述微型法拉第杯(6)位于法拉第收集框(3)内部，所述石墨挡板(4)安装于所述法拉第收集框(3)上，位于微型法拉第杯(6)入口前方位置。
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