[发明专利]一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法

摘要

本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得n阶旋转补偿器型椭偏仪椭偏仪系统误差与元件误差之间的关系。最后改变旋转补偿器型椭偏仪起检器与检偏器方位角，经过四次测量，并求得四次测量结果的均值，这个均值就是已消除了椭偏仪系统误差的待测样品的穆勒矩阵。本发明方法可以获得旋转补偿器型椭偏仪由元件误差导致的系统误差的解析表达式，计算过程明确，系统误差的消除方法操作简单可行，可以适用于现有不同结构类型旋转补偿器型椭偏仪。

主权项

一种旋转补偿器型椭偏仪的系统误差评估及消除方法，其通过建立旋转补偿器型椭偏仪的系统误差与引起系统误差的每个元件的元件误差之间的关系，实现对系统误差的评估并进而消除该系统误差，其特征在于，该方法具体包括以下步骤： （1）建立旋转补偿器型椭偏仪系统模型和系统传递函数，并据此获得待测样品的穆勒矩阵的解析表达式； （2）通过对所述待测样品的穆勒矩阵的解析表达式进行泰勒展开，获得旋转补偿器型椭偏仪的系统误差与每个元件误差之间的关系，从而实现对椭偏仪系统误差的评估； （3）利用所述旋转补偿器型椭偏仪对样品进行多次测量，其中每次测量的起检器与检偏器的方位角形成的方位角组合互不相同，得到对应样品的多个穆勒矩阵，求取该多个穆勒矩阵的均值，得到的穆勒矩阵即为消除了椭偏仪系统误差的待测样品的穆勒矩阵。