[发明专利]微机械元件和微机械元件的制造方法在审
| 申请号： | 201310296384.1 | 申请日： | 2013-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103420323A | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | J·贡斯卡;J·弗莱;H·韦伯;T·沙里;T·迈尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 曾立 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械元件，尤其是一个微机械传感器，包括一个承载衬底和一个罩形衬底，以及涉及一种制造方法，其中，承载衬底和罩形衬底借助共晶的键合或金属焊接或玻璃焊接(例如，玻璃烧结)相互连接，其中，在承载衬底和罩形衬底的一个边缘区城中，通过连接区制造承载衬底和罩形衬底之间的连接，并且在边缘区内的边界区中设置一个截止槽或一个截止凸起，或既设置一个截止槽也设置一个截止凸起。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机械元件(10)，尤其是一个微机械传感器，包括一个承载衬底(20)和一个罩形衬底(30)，其中，承载衬底(20)具有一个第一连接侧(21)和罩形衬底(30)具有一个第二连接侧(31)，其中，承载衬底(20)和罩形衬底(30)通过所述第一和第二连接侧(21，31)借助共晶的键合或金属焊接或玻璃焊接相互连接，其中，第一连接侧(21)具有一个包含一个微机械结构(29)的第一结构区(22)和一个第一边缘区(23)，其中，第一边缘区(23)至少部分地包围位于第一连接侧(21)的第一结构区(22)，其中，第二连接侧(31)具有一个位于第一结构区(22)对面的第二结构区(32)以及一个第二边缘区(33)，其中，第二边缘区(33)至少部分地包围位于第二连接侧(31)的第二结构区(32)，其特征在于，第一边缘区(23)具有一个第一连接区(24)和一个第一边界区(25)，第二边缘区(33)具有一个第二连接区(34)和一个第二边界区(35)，第一连接区(24)和第二连接区(34)相对地设置，第一边界区(25)与第二边界区(35)相对也设置，第一边界区(25)或第二边界区(35)具有：一个截止槽(41，42，43，44)或一个截止凸起(51，52)或既有一个截止槽(41，42，43，44)也有一个截止凸起(51，52)。
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