[发明专利]一种金属箔基底石墨烯的转移方法有效

专利信息
申请号: 201310289919.2 申请日: 2013-07-10
公开(公告)号: CN103342356A 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 张梓晗;吕鹏 申请(专利权)人: 合肥微晶材料科技有限公司
主分类号: C01B31/04 分类号: C01B31/04
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 何梅生
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种金属箔基底石墨烯的转移方法,其特征是:在石墨烯表面旋涂保护胶,在石墨烯的表面形成保护胶层,保护胶为光刻胶与聚甲基丙烯酸甲酯溶液的混合液;将表面有保护胶层的石墨烯放入金属箔刻蚀液中,待金属箔被完全刻蚀后,形成石墨烯/保护胶层的复合层;将石墨烯/保护胶层的复合层取出并放入去离子水中浸泡清洗后转移到目标基底上,然后将目标基底在离心设备上进行离心,离心后将目标基底浸入丙酮溶剂中,刻蚀掉保护胶层。本发明所用的保护胶制备简单且易于去除,使得石墨烯上不会有保护胶的残存,且本发明通过离心的方式有效去除了转移到目标基底后石墨烯表面以及石墨烯与目标基底之间的液体残留。
搜索关键词: 一种 金属 基底 石墨 转移 方法
【主权项】:
一种金属箔基底石墨烯的转移方法,其特征是按如下步骤进行:a、在石墨烯表面旋涂0.5μm‑2μm厚的保护胶后,在60‑100℃的温度下烘5‑15分钟或在室温下晾30‑60分钟,得表面有保护胶层的石墨烯,所述保护胶为光刻胶与以苯甲醚或氯仿为溶剂的质量浓度为3‑10%的聚甲基丙烯酸甲酯溶液按任意体积比混合的混合液;b、将表面有保护胶层的石墨烯放入金属箔刻蚀液中,以所述保护胶层朝上,待金属箔基底被完全刻蚀后,形成漂浮在金属箔刻蚀液表面的石墨烯/保护胶层的复合层;c、将所述石墨烯/保护胶层的复合层取出并放入去离子水中浸泡清洗,得洁净石墨烯/保护胶层的复合层;d、将洁净石墨烯/保护胶层的复合层以保护胶层朝上转移到目标基底上,然后将目标基底在离心设备上进行离心,离心条件为:离心设备的转速为800转/分钟‑5000转/分钟,离心时间为15秒‑60秒;e、将完成步骤d的目标基底自然晾干,晾干时间不低于30分钟;然后将晾干后的目标基底浸入丙酮中,刻蚀掉保护胶层,石墨烯留在目标基底上,完成金属箔基底石墨烯的转移。
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