[发明专利]制备多晶硅还原生产用混合气供料的方法无效
| 申请号： | 201310287574.7 | 申请日： | 2013-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN103408018A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 石何武;严大洲;肖荣晖;汤传斌;毋克力;杨永亮;郑红梅 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制备多晶硅还原生产用混合气供料的方法。该方法包括将氢气、三氯氢硅液体和二氯二氢硅液体的混合物进行汽化过程，以便获得多晶硅还原生产用混合气供料。由此，不仅可以提高三氯氢硅的一次转化率，进而提高多晶硅在还原炉内的沉积速率；还可以通过控制参数调整过程中诱发二氯二氢硅的气相沉积，从而提高了三氯氢硅的还原利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 多晶 还原 生产 混合 供料 方法 | ||
【主权项】：
一种制备多晶硅还原生产用混合气供料的方法，其特征在于，将氢气、三氯氢硅液体和二氯二氢硅液体的混合物进行汽化过程，以便获得多晶硅还原生产用混合气供料。
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