[发明专利]一种晶硅太阳能电池生产中实施背抛光的方法有效
| 申请号： | 201310282762.0 | 申请日： | 2013-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN103361739A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 李茂林;涂宏波;王学林;刘自龙;李仙德;陈康平;金浩 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/40;C23F3/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 吴关炳 |
| 地址： | 314416 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶硅太阳能电池生产中实施背抛光的方法，其采用一种新的湿法刻蚀的碱槽结构，所述碱槽分为两个独立的部分，分别为浸泡区和喷淋区，两个区域有独立的槽体并具有独立的控制功能，所述的控制功能包括控制碱液的浓度、温度以及补水和添加药液的功能；在所述碱槽的浸泡区采用“水上漂”的方式，通过碱液的腐蚀完成背抛光，在所述碱槽的喷淋区采用喷淋的方式，对硅片的正表面和背面进行喷淋，去除硅片表面的多孔硅。本发明能够在不影响硅片正面的情况下，实现太阳能电池生产中背抛光的目标，操作简单，效果优越。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 生产 实施 抛光 方法 | ||
【主权项】：
一种晶硅太阳能电池生产中实施背抛光的方法，其特征在于，采用一种新的湿法刻蚀的碱槽结构，所述碱槽分为两个独立的部分，分别为浸泡区和喷淋区，两个区域有独立的槽体并具有独立的控制功能，所述的控制功能包括控制碱液的浓度、温度以及补水和添加药液的功能；在所述碱槽的浸泡区采用“水上漂”的方式，通过碱液的腐蚀完成背抛光，在所述碱槽的喷淋区采用喷淋的方式，对硅片的正表面和背面进行喷淋，去除硅片表面的多孔硅。
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