[发明专利]一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器有效
申请号: | 201310280860.0 | 申请日: | 2013-07-05 |
公开(公告)号: | CN103336330A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 费永浩;陈少武 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122;G02B6/126 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于非对称垂直狭缝(slot)波导的偏振旋转器,其包括:入射端波导,其用于导入外部入射的光;模式转换波导,其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光;出射端波导,其用于导出TM/TE模;其中,入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。该结构在纵向上打破了材料的对称性,横向上打破了几何尺寸的对称性,从而使得特定波导中的本征模式是混合模式,两个本征混合模式之间可以实现相互转化,最终实现TE模和TM模之间的相互转化。该偏振旋转器可以利用一次刻蚀将TE/TM转化为TM/TE模,大大减小了器件制作难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 对称 垂直 狭缝 波导 偏振 旋转 | ||
【主权项】:
一种基于非对称垂直狭缝波导的偏振旋转器,其包括:入射端波导,其用于导入外部入射的光;模式转换波导,其用于将TE/TM模入射光转化为TM/TE模出射光;出射端波导,其用于导出TM/TE模;其中,入射端波导、模式转换波导和出射端波导均为不对称狭缝波导。
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