[发明专利]一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器无效
| 申请号： | 201310279863.2 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN103338021A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 闫晓军;漆明净 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 成金玉;顾炜 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器，包括：一个绝缘支撑基座，该绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，即电势浮动；一个导电微梁，该导电微梁的一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；两个直流驱动电极，置于导电微梁两侧，其中一个直流驱动电极接入直流正电压，另一个直流驱动电极接入直流负电压，两直流驱动电极之间保持一定的间距；一个衬底，所述的绝缘支撑基座和直流驱动电极均固定在该衬底上。本发明舍弃了传统谐振器所必需的复杂交流驱动/检测电路，并消除了结构失稳带来的短路风险，在简化结构的同时，大大提高了谐振幅值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 振动 原理 微机 谐振器 | ||
【主权项】：
一种基于结构自激振动原理的微机电谐振器，其特征在于包括：一个绝缘支撑基座，该绝缘支撑基座不与任何电极相连，也不接地，即电势浮动；一个导电微梁，该导电微梁的一端固定在上述绝缘支撑基座上，另一端为水平悬空状；两个直流驱动电极，置于导电微梁两侧，其中一个直流驱动电极接入直流正电压，另一个直流驱动电极接入直流负电压，两直流驱动电极之间保持一定的间距；一个衬底，所述的绝缘支撑基座和直流驱动电极均固定在该衬底上。
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