[发明专利]用于化学气相沉积的进气口元件及其制造方法

摘要

用于化学气相沉积反应器（10）的进气口元件由多个长形的管状元件（64，65）构成，该多个长形的管状元件相互肩并肩地设置在一个垂直于反应器上下游方向的平面上。所述管状元件具有用于沿下游方向排放气体的进气口。晶片载体（14）绕着上游至下游的轴旋转。气体分布元件可以提供这样的气体分布模式：气体分布关于延伸穿过所述轴的中间平面（108）为非对称。

主权项

一种化学气相沉积反应器，其特征在于，包括：(a) 具有上游和下游方向的反应室；(b) 载体支撑件，用于在反应室内的载体位置处支撑晶片载体，使载体能够围绕延伸于上游和下游方向的轴旋转；(c) 在载体位置的上游处安装至反应室的进气口元件，所述进气口元件具有沿着X和Y水平方向延伸的气体分布表面，所述X和Y水平方向相互垂直、且垂直于下游方向，所述进气口元件具有多个长形进气口，用于将气体排入反应室，所述长形进气口相互平行地延伸，并在X水平方向上穿过气体分布表面，且穿过反应器的Y方向中间平面延伸，所述长形进气口包括多个用于排放第一反应气体的第一进气口和多个用于排放第二反应气体的第二进气口，所述第一进气口在Y水平方向上相互间隔地设置，所述第二进气口在Y水平方向上相互间隔地设置，并与第一进气口穿插。