[发明专利]LED外延结构及其生长方法有效

专利信息
申请号: 201310274853.X 申请日: 2013-07-02
公开(公告)号: CN103346226A 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 张宇;赖穆人 申请(专利权)人: 湘能华磊光电股份有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/06;H01L33/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明;张永明
地址: 423038 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明公开了一种LED外延结构及其生长方法。该外延结构包括:GaN缓冲层,设置在蓝宝石衬底上;N型GaN层,掺杂有Si和Al并设置在GaN缓冲层上;量子阱层,设置在N型GaN层上;P型GaN层,设置在量子阱层上。上述N型GaN层包括:第一N型GaN层,设置在GaN缓冲层上;第二N型GaN层,设置在第一N型GaN层上;第三N型GaN层,设置在第二N型GaN层上。上述N型GaN层包括交替设置的Si-Al-GaN层和Si-GaN层。本发明提供的LED外延结构生长方法利用交替式掺杂Si和Al的方式生长N型GaN层,获得Si-Al-GaN/Si-GaN层的周期性结构。采用本发明提供的LED外延结构的生长方法所制作LED的驱动电压得到降低,亮度和光效得到提升。
搜索关键词: led 外延 结构 及其 生长 方法
【主权项】:
一种LED外延结构,其特征在于,所述外延结构包括:GaN缓冲层,设置在蓝宝石衬底上;N型GaN层,掺杂有Si和Al并设置在所述GaN缓冲层上;量子阱层,设置在所述N型GaN层上;以及P型GaN层上,设置在所述量子阱层上。
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