[发明专利]一种高温下连续生长石墨烯的装置

摘要

一种高温下连续生长石墨烯的装置，包括有内设真空室的密封机柜、卷有基底的放料辊轮、用于卷收基底的收料辊轮、加热器、进气机构和真空泵组。基底卷在放料辊轮上，基底的端头穿过坚直高温反应腔连接在收料辊轮上，真空泵组为竖直反应腔提供真空的反应条件，进气机构向竖直反应腔提供石墨烯生长反应气体，加热器为石墨烯生长提供温度条件。本设备克服了石墨烯生长连续制备与高温不兼容的问题，它可以使生长基底在高温下连续、平稳的生长石墨烯，实现大面积均匀石墨烯的规模化制备。

主权项

一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述装置包括有内设真空室的密封机柜、卷有基底的放料辊轮、用于卷收基底的收料辊轮和内设竖直基底通道的加热器，所述放料辊轮、收料辊轮和加热器均安装在真空室内，在加热器的基底通道内设置有用于穿过基底的竖直反应腔，在机柜上安装有连通至竖直反应腔的进气机构，在加热器与收料辊轮之间还设置有用于冷却基底的冷却机构，所述装置还包括有用于给真空室抽真空的真空泵组。