[发明专利]一种GaN基LED外延结构及其生长方法无效
申请号: | 201310268414.8 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN103337572A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 罗绍军;李鸿建;艾常涛;靳彩霞;董志江 | 申请(专利权)人: | 武汉迪源光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/06;H01L33/14;H01L33/00;H01L33/32 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种GaN基LED外延结构及其生长方法。该GaN基LED外延结构由下向上依次包括蓝宝石衬底层、GaN成核层、非故意掺杂u-GaN层、N型掺杂GaN层、第一电子储存区、GaN隔层、第二电子储存区、有源区多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层、接触层。本发明的GaN基LED外延结构及其生长方法,能够减小有源区材料的应力,提高GaN基LED的发光效率,提高晶体材料质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 gan led 外延 结构 及其 生长 方法 | ||
【主权项】:
一种GaN基LED外延结构,其特征在于,所述GaN基LED外延结构由下向上依次包括蓝宝石衬底层、GaN成核层、非故意掺杂u‑GaN层、N型掺杂GaN层、第一电子储存区、GaN隔层、第二电子储存区、有源区多量子阱层、电子阻挡层、P型GaN层、接触层。
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