[发明专利]一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘无效
| 申请号： | 201310254837.4 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103302604A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 王佳;范斌;万勇建;施春燕;孟凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明为一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘，具有一转轴连接端位于基底的外上部中心位置；一基底具有环状凸台位于侧壁的外侧，环状凸台上具有一组固接螺孔，一组固接螺孔中心对称于转轴连接端；一法兰环，为圆环柱体，且具有一组固接螺孔；一隔膜密封膜片，为上端开口的桶形结构；一磁流变橡皮泥置于由隔膜密封膜片的内壁、上表面和基底的底部形成的一密封空腔中，隔膜密封膜片的凸台通过法兰环和螺栓与基底的环形凸台固定连接；一抛光垫，与隔膜密封膜片的下表面固定连接；一磁场发生器，置于磨盘外基底的外上部的上表面，控制密封空腔中的磁场分布，磁场发生器产生平行于转轴方向的磁场，调节控制磁流变橡皮泥的储能模量和损耗模量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 光学 表面 频段 误差 抛光 磨盘 | ||
【主权项】：
一种抑制光学表面全频段误差的抛光磨盘，其特征在于包括：一转轴连接端，位于基底的外上部中心位置，用于连接机床转轴，获得驱动力带动整个抛光磨盘旋转；一基底，具有一外上部、外下部、侧壁、固接螺孔和环状凸台；环状凸台位于侧壁的外侧，环状凸台上具有一组固接螺孔，一组固接螺孔中心对称于转轴连接端；一法兰环，为圆环柱体，且具有一组固接螺孔；一隔膜密封膜片，为上端开口的桶形结构，具有内壁、下表面、上表面、边缘设有凸台；一磁流变橡皮泥置于由隔膜密封膜片的内壁、上表面和基底的底部形成的一密封空腔中，隔膜密封膜片的凸台通过法兰环和螺栓与基底的环形凸台固定连接；一抛光垫，与隔膜密封膜片的下表面固定连接；一磁场发生器，置于磨盘基底的外上部的上表面，控制密封空腔中的磁场分布，磁场发生器产生平行于转轴方向的磁场，调节控制磁流变橡皮泥的储能模量和损耗模量。
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