[发明专利]用于干涉式间距测量的设备有效
| 申请号： | 201310238005.3 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN103512505B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | W.胡贝尔;R.约尔格;W.霍尔萨普费尔 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯·海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 臧永杰,王忠忠 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于干涉式间距测量的设备。该设备包括测量反射器、光源、分裂元件、会聚元件以及探测器装置。经由分裂元件将由光源发射的射线束分裂为至少一个测量射线束和至少一个参考射线束，其中测量射线束在进一步的射线进程中至少两次轰击测量反射器。在会聚元件处，测量射线束和参考射线束达到干涉性叠加。经由探测器装置，可以从干涉性测量和参考射线束中关于测量反射器与该设备的一个或多个其它部件之间沿着测量方向的间距产生至少一个间距信号。分裂元件被构造为分裂光栅，其中光源在分裂光栅的方向上平行于测量反射器的表面地发射射线束。分裂光栅垂直于测量反射器表面地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 干涉 间距 测量 设备 | ||
【主权项】：
用于干涉式间距测量的设备，具有：‑测量反射器，‑光源，‑分裂元件，该分裂元件将由光源发射的射线束分裂为至少一个测量射线束和至少一个参考射线束，其中测量射线束在进一步的射线进程中至少两次轰击测量反射器，‑会聚元件，在所述会聚元件处测量射线束和参考射线束达到干涉性叠加，以及具有‑探测器装置，经由所述探测器装置能够从干涉性测量和参考射线束中关于测量反射器与该设备的一个或多个其它部件之间沿着测量方向的间距产生至少一个间距信号，其中所述测量反射器相对于所述部件的至少一部分间距可变地布置，其特征在于，分裂元件被构造为分裂光栅（11；111；211），并且光源（16；116；216）在分裂光栅（11；111；211）的方向上平行于测量反射器（1；100；200）的表面地发射射线束，其中分裂光栅（11；111；211）垂直于测量反射器（1；100；200）的表面地布置。
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