[发明专利]一种不锈钢工件低温低压离子渗氮方法及其装置

摘要

一种不锈钢工件低温低压离子渗氮方法及其装置。所述不锈钢工件低温低压离子渗氮装置的渗氮真空室能够进行抽真空并保持恒定气压，试样平台能够放置被渗氮不锈钢，脉冲电源电源的负极接试样平台，直流电源的负极接阴极辅助钛板，辅助阴极钛板通过绝缘陶瓷挂杆悬挂在渗氮真空室中，被渗氮不锈钢放置在试样平台，辅助钛板与被渗氮保持合适的距离。渗氮中，通过控制工艺参数，得到低温低压离子渗氮处理的不锈钢工件。本发明改善了不锈钢耐腐蚀、耐磨损和耐疲劳综合性能，并且得到的不锈钢工件的渗氮表面清洁光亮。

主权项

一种不锈钢工件低温低压离子渗氮方法；其特征在于，具体操作步骤是：步骤1、工件表面的预处理；所述工件的表面预处理包括对工件表面的机械预处理、工件表面除油和超声清洗；步骤2、渗氮处理；将工件放置在试样平台上，通过辅助阴极钛板将工件完全覆盖；将阴极辅助钛板悬挂于真空室内且与工件表面有10～30mm间距；将辅助阴极钛板与直流电源的负极连接；将渗氮真空室的气压抽至低于5Pa后，通入流量为20sccm的Ar气和流量为80sccm的N2气并保持气体流量恒定至渗氮处理结束；调节渗氮真空室气压至10～60Pa并保持恒定至渗氮处理结束；渗氮开始后，调节直流电源电压参数至200～400V，脉冲电源电压参数至500～800V，脉冲频率至10KHz，脉冲电源占空比至20%～100%并保持至渗氮处理结束；当渗氮工件的渗氮温度由室温升至300～500℃开始保温，保温时间为6～48h，对工件进行渗氮；得到低温低压离子渗氮处理的不锈钢工件。