[发明专利]检查装置有效
| 申请号： | 201310232807.3 | 申请日： | 2013-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103543303A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 冈田章;秋山肇;山下钦也 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够容易地抑制绝缘基板的膨胀、翘曲的检查装置。本申请的发明所涉及的检查装置的特征在于包括：绝缘基板(10)；插座(12)，由在壁面具有贯通孔(12b)的主体部(12a)和固定于该绝缘基板(10)的连接部(12c)一体地形成；以及接触探针(14)，可装卸地固定于该插座(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
一种检查装置，其特征在于包括：绝缘基板；插座，由在壁面具有贯通孔的主体部和固定于所述绝缘基板的连接部一体地形成；以及接触探针，可装卸地固定于所述插座。
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