[发明专利]一种不等高位置晶圆托架及使用方法有效
| 申请号： | 201310211397.4 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN103280421A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 凌复华;吴凤丽;姜崴;朱超群;祁广杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种不等高位置晶圆托架及使用方法，主要解决现有设计的等高晶圆支架在多腔同时传片过程中不能分别对单个晶圆的位置进行准确调整的技术问题。不等高位置晶圆托架，包括高晶圆支架和低晶圆支架两个部分。上述高晶圆支架通过固定螺栓将不等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后通过紧固螺钉连接到传片腔中固定。上述低晶圆支架通过标准件将等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后再由紧固螺钉将其连接到传片腔中固定.当高低两个晶圆支架都安装固定完成之后，通过两步骤实现了多腔晶圆在一个机械手分别进行校准及精确定位，从而保证了传片位置的准确，更加保证了薄膜沉积的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 不等 位置 托架 使用方法 | ||
【主权项】：
一种不等高位置晶圆托架，其特征在于：它包括高晶圆支架和低晶圆支架两个部分，高、低两个晶圆支架分别设有不等高晶圆支架的支板、固定螺栓及高、低晶圆支架底板，上述高、低两个晶圆支架只有晶圆支架的底板高度不同，其他结构和安装方式都相同，上述高晶圆支架通过固定螺栓将不等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后通过紧固螺钉连接到传片腔中固定，上述低晶圆支架通过标准件将等高晶圆支架的支板连接到晶圆支架底板的上面，然后再由紧固螺钉将其连接到传片腔中固定。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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