[发明专利]具有静电消除功能的工件传输装置在审
| 申请号： | 201310203784.3 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN104176431A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 徐品烈;刘亚奇;么文静;唐亮 | 申请（专利权）人： | 北京中电科电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G17/12 | 分类号： | B65G17/12;B65G47/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有静电消除功能的工件传输装置，涉及半导体加工制造技术领域。该工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置。其中，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行静电消除处理的静电消除组件。本发明的技术方案对工件采用传送的方式，另外在传送过程中还可以对工件进行静电消除处理，能够减少工件传递和静电消除处理的时间消耗，提高工件处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 静电 消除 功能 工件 传输 装置 | ||
【主权项】：
一种具有静电消除功能的工件传输装置，用于连接工件提供装置和工件处理装置，其特征在于，所述工件传输装置包括：设置在所述工件提供装置和工件处理装置之间的支撑组件；设置在所述支撑组件上，用于接受工件提供装置提供的工件，并将所述工件传送到所述工件处理装置的传动组件；设置在所述支撑组件上、用于为所述传动组件提供传送动力的动力组件；设置在所述传动组件侧，用于对所述工件进行静电消除处理的静电消除组件。
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机
B65G17-00 具有环形牵引元件，如链条的输送机，牵引元件将运动传递给连续的或基本上连续的载荷运载表面或传递给一系列单个载荷运载体；由链条构成载荷运载表面的环形链输送机
B65G17-02 . 包含固定到或安置在牵引元件上的载荷运载带
B65G17-06 . 具有由一系列相互连接的，如纵向连杆、板或平台组成的载荷运载表面
B65G17-12 . 包含一系列相对于牵引元件固定的，或通常固定的单独载荷运载体
B65G17-16 . 包含枢轴式安装的单独载荷运载体，如用于摇摆运动
B65G17-20 . 包含有从高架牵引链上悬挂下来的载荷运载体
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